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工控人家園 綜合討論 真空壓力的PID控制問題

於汝彪

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樓主發表于: 2012-10-30 13:28

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現在我在做一個需要抽真空機器，其中真空泵組是由一個油泵和一個羅茨泵組成的，在工作工程中壓力需保持在20……30pa，工作中需要兩次進氣。要求在工作工程中壓力需保持在20~30pa，羅茨泵由變頻器控制，油泵直接接電源的。請問大俠們這個PID怎么控制，現在能穩定，但是進氣時波動比較大

liangtison

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1樓發表于: 2013-04-18 22:50

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進氣的控制可以采用MFC穩定充氣量，同時對羅茨泵的轉速進行PID控制（根據真空度）

工控人家園 綜合討論 真空壓力的PID控制問題

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